一、防塵、防毒設施設計 （1）2#廠(chǎng)房1F鉆機設置側吸罩（罩口控制風(fēng)速≥1.0m/s，風(fēng)機風(fēng)量：7000m3/h）。 （2）2#廠(chǎng)房2F銑床設置側吸罩（罩口控制風(fēng)速≥1.0m/s，風(fēng)機風(fēng)量：7000m3/h）。 （3）2#廠(chǎng)房2F棕化線(xiàn)采用自動(dòng)化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機風(fēng)量：7000m3/h）。 （4）2#廠(chǎng)房3F晶圓切割機設置側吸罩（罩口控制風(fēng)速≥1.0m/s，風(fēng)機風(fēng)量：7000m3/h）。 （5）4#廠(chǎng)房2F激光鉆孔采用自動(dòng)化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機風(fēng)量：25000m3/h）。 （6）4#廠(chǎng)房2F微蝕減銅線(xiàn)、水平除膠沉銅線(xiàn)、鍍錫線(xiàn)、鍍銅線(xiàn)、圖形化學(xué)前處理線(xiàn)、快速蝕刻線(xiàn)、水平DES線(xiàn)采用自動(dòng)化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機風(fēng)量：27600m3/h）。 （7）4#廠(chǎng)房2F去膜線(xiàn)/隧道烘箱采用自動(dòng)化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機風(fēng)量：32000m3/h）。 （8）4#廠(chǎng)房3F沉錫線(xiàn)、超粗化線(xiàn)、噴砂線(xiàn)采用自動(dòng)化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機風(fēng)量：20000m3/h）。 （9）4#廠(chǎng)房3F絲印機、滾涂線(xiàn)采用自動(dòng)化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機風(fēng)量：35000m3/h）。 （10）4#廠(chǎng)房3F去膜線(xiàn)采用自動(dòng)化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機風(fēng)量：32000m3/h）。 （11）4#廠(chǎng)房3F鎳鈀金線(xiàn)采用自動(dòng)化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機風(fēng)量：31000m3/h）。 （12）4#廠(chǎng)房3F數控銑床采用自動(dòng)化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風(fēng)速≥0.4m/s，風(fēng)機風(fēng)量：25000m3/h） （13）原輔料分類(lèi)存放，均用密閉的容器儲存，化學(xué)品容器用墊板墊高，防止與地面接觸。化學(xué)品倉庫采用環(huán)氧地坪漆，設置圍堰或放置托盤(pán)，預防化學(xué)品發(fā)生泄漏。 （14）易燃液體、遇濕易燃物品、易燃固體不與氧化劑混合貯存，具有還原性的氧化劑單獨存放。 （15）有毒物品應貯存在陰涼、通風(fēng)、干燥的場(chǎng)所，不露天存放，不接近酸類(lèi)物質(zhì)。 （16）化學(xué)危險品入庫時(shí)，嚴格檢驗物品質(zhì)量、數量、包裝情況、有無(wú)泄漏。 （17）化學(xué)危險品入庫后采取適當的養護措施，在貯存期內，定期檢查，發(fā)現其品質(zhì)變化、包裝破損、滲漏等，及時(shí)處理。 （18）庫房溫度、濕度嚴格控制、經(jīng)常檢查，發(fā)現變化及時(shí)調整。 （19）建設單位生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生的固廢分類(lèi)存放、密封袋盛裝。 （20）排風(fēng)罩應能將有害物源放散的有害物予以捕集，在使工作場(chǎng)所有害物濃度達到相應衛生標準要求的前提下，提高捕集效率，以較小的能耗捕集有害物。 （21）當不能將有害物源全部密閉時(shí)可設置外部罩，外部罩的罩口應盡可能接近有害物源。 （22）排風(fēng)罩的罩口外氣流組織宜有利于有害氣流直接進(jìn)入罩內，且排氣線(xiàn)路不應通過(guò)作業(yè)人員的呼吸帶。 （23）排風(fēng)罩應避免布置在存在干擾氣流之處。排風(fēng)罩的設置應方便作業(yè)人員操作和設備維修。 （24）液氮為密閉管道輸送。 （25）建設項目化學(xué)品在使用前均為密封包裝狀態(tài)，分別轉運至藥品自動(dòng)供給室，在安裝桶/槽/罐/瓶時(shí)，均在化學(xué)品柜中進(jìn)行，管路連接完成后方能開(kāi)啟桶/槽/罐/瓶。藥品配送站設計位于密閉的潔凈廠(chǎng)房?jì)龋O置一般排氣（2#廠(chǎng)房：風(fēng)量18000m3/h；4#廠(chǎng)房：風(fēng)量40000m3/h），廢氣將通過(guò)廠(chǎng)房屋頂排氣筒排放。化學(xué)品在輸送至生產(chǎn)工序時(shí)管道采用雙層套管，避免了物料的跑冒滴漏。 二、防噪、減振設施設計 （1）在符合工藝要求的條件下，選用低噪聲的設備。 （2）高噪聲設備集中布置與辦公室隔開(kāi)，并設置消音器（風(fēng)機等），作業(yè)場(chǎng)所采用墻體隔聲，減少噪聲傳播，降低噪聲對非生產(chǎn)區的影響。 （3）生產(chǎn)設備設置減振墊，減少振動(dòng)造成的噪聲。 （4）辦公室、控制室與作業(yè)場(chǎng)所位于不同樓層，正常作業(yè)時(shí)，門(mén)窗均為關(guān)閉狀態(tài)。 ①消音器外觀(guān)應整潔、無(wú)破損； ②消音器銘牌、合格證及氣流方向標志應牢固，標識內容應清晰； ③消音器采用鉚接工藝時(shí)，鉚點(diǎn)應均勻牢固且應選用實(shí)心鉚釘，穿孔板咬口方式應采用內平咬口工藝以減小風(fēng)阻；采用焊接工藝時(shí)，焊接區域應牢固、均勻、光滑，不應有裂紋、虛焊、氣孔、夾渣等缺陷； ④消音器安裝采用過(guò)渡管連接時(shí)，過(guò)渡管單邊當量擴張角應不大于15°，并應保證氣流均勻通過(guò)消聲器截面； ⑤在保證使用性能的條件下，消音器可承受的最高壓力不應超過(guò)額定壓力的120%，可通過(guò)氣流的最高流量不得超過(guò)額定流量的110%，可通過(guò)介質(zhì)的最高溫度不應高于額定溫度50℃。 三、防暑、降溫設施設計 （1）高溫季節為勞動(dòng)者發(fā)放清涼飲品和藥品。 （2）合理安排作業(yè)時(shí)間，制定合理的勞動(dòng)休息制度，減少高溫接觸時(shí)間。 （3）作業(yè)場(chǎng)所采用送風(fēng)系統，空調作業(yè)場(chǎng)所，加強內空氣流通。 （4）建設單位隧道烘箱等設置隔熱材料，防止作業(yè)人員燙傷。 （5）除上述防暑降溫設施、措施，建設單位還應按照《關(guān)于印發(fā)防暑降溫措施管理辦法的通知》（安監總安健〔2012〕89號）的要求，根據地市級以上氣象主管部門(mén)所屬氣象臺當日發(fā)布的預報氣溫，調整作業(yè)時(shí)間： ①日最高氣溫達到40℃以上，應當停止當日室外露天作業(yè)； ②日最高氣溫達到37℃以上、40℃以下時(shí)，建設單位全天安排勞動(dòng)者室外露天作業(yè)時(shí)間累計不得超過(guò)6小時(shí)，連續作業(yè)時(shí)間不得超過(guò)國家規定，且在氣溫最高時(shí)段3小時(shí)內不得安排室外露天作業(yè)； ③日最高氣溫達到35℃以上、37℃以下時(shí)，建設單位應當采取換班輪休等方式，縮短勞動(dòng)者連續作業(yè)時(shí)間，并且不得安排室外露天作業(yè)勞動(dòng)者加班。 四、防電離輻射設施設計 （1）設備自帶屏蔽措施（屏蔽體與X射線(xiàn)裝置主體結構一體設計和制造）。機房四周和頂部的墻體均采用鋼-鉛-鋼夾層結構（鉛層厚度：14mm）。 （2）設置單獨的控制臺，控制臺的液晶顯示屏可清晰地顯示工作時(shí)的管電壓、管電流、高壓接通或斷開(kāi)狀態(tài)以及照射時(shí)間設定值等工作參數，并設有高壓接通時(shí)的外部報警、指示裝置，控制臺與X射線(xiàn)機系統分開(kāi)并避開(kāi)有用線(xiàn)束的照射方向。 （3）設置門(mén)-機聯(lián)鎖裝置，并保證在門(mén)（包括人員門(mén)和貨物門(mén)）關(guān)閉后X射線(xiàn)裝置才能進(jìn)行作業(yè)，門(mén)打開(kāi)時(shí)應立即停止X射線(xiàn)照射，關(guān)上門(mén)不能自動(dòng)開(kāi)始X射線(xiàn)照射。 （4）作業(yè)場(chǎng)所門(mén)口和內部同時(shí)設有顯示“預備”和“照射”狀態(tài)的指示燈和聲音提示裝置。“預備”信號持續足夠長(cháng)的時(shí)間，以確保探傷室內人員安全離開(kāi)。“預備”信號和“照射”信號與該工作場(chǎng)所內使用的其他報警信號有明顯區別。照射狀態(tài)指示裝置與X射線(xiàn)探傷裝置聯(lián)鎖。 （5）作業(yè)場(chǎng)所防護門(mén)上有電離輻射警告標識和中文警示說(shuō)明。 （6）分別設置鑰匙開(kāi)關(guān)，并由專(zhuān)人管理，只有在打開(kāi)控制臺鑰匙開(kāi)關(guān)后，X射線(xiàn)管才能出束；只有在停機或待機狀態(tài)時(shí)才能拔出鑰匙。 （7）設置攝像頭，對測厚、在線(xiàn) X-ray 檢查、鉆靶作業(yè)進(jìn)行監控，避免不規范作業(yè)。 （8）設置獨立的安全開(kāi)關(guān)，防止門(mén)在檢測過(guò)程中打開(kāi)或在門(mén)打開(kāi)時(shí)關(guān)閉高壓，鉛門(mén)同時(shí)設置與X射線(xiàn)源的連鎖保護，鉛門(mén)打開(kāi)時(shí)不能開(kāi)啟高壓，開(kāi)高壓過(guò)程中如鉛門(mén)意外打開(kāi)，高壓自動(dòng)關(guān)閉，控制臺配置應急開(kāi)關(guān)與X射線(xiàn)源連鎖。 （9）每天對各操作按鈕開(kāi)關(guān)是否完好無(wú)損，對急停開(kāi)關(guān)、聯(lián)動(dòng)門(mén)關(guān)閉、警示燈、水冷系統運行、監控系統、輻射個(gè)人劑量報警儀、個(gè)人劑量片胸卡等是否正常工作或運行進(jìn)行檢查，確認無(wú)誤后方可進(jìn)行作業(yè)。 （10）設置電源總開(kāi)關(guān)，當緊急停機按鈕無(wú)法使用，可以切斷電源總開(kāi)關(guān)使系統停止運行。 （11）定期用檢測儀對系統輻射值進(jìn)行檢測，檢測射線(xiàn)是否有泄漏。放射工作人員開(kāi)機操作前先使用X射線(xiàn)泄漏檢測儀對系統進(jìn)行放射泄漏安全檢測，檢測合格后方可按照安全操作規程進(jìn)行操作，定期對接地和電纜絕緣進(jìn)行檢查。 （12）制定X射線(xiàn)實(shí)時(shí)成像檢測系統的安全操作規程，并對放射工作人員進(jìn)行培訓，嚴格按照操作規程進(jìn)行操作。 （13）X射線(xiàn)裝置墻壁圍成的內部區域劃為控制區,與墻壁外部相鄰區域劃為監督區。 （14）控制區邊界懸掛清晰可見(jiàn)的“禁止進(jìn)入X 射線(xiàn)區”警告牌,探傷作業(yè)人員在控制區邊界外操作,否則應采取專(zhuān)門(mén)的防護措施。 （15）現場(chǎng)探傷作業(yè)工作過(guò)程中,控制區內不應同時(shí)進(jìn)行其他工作。 五、防非電離輻射設施設計 （1）建設單位激光打標、激光鉆孔、UV 固化、阻焊DI曝光采用自動(dòng)化、密閉化設備，并設置聯(lián)鎖的防護罩，光束的通道防護圍封。 （2）在防護裝置被打開(kāi)或被移動(dòng)，或聯(lián)鎖裝置失效時(shí)，設備不能自動(dòng)運行工作。 （3）機床的激光成形加工裝置安全、可靠，確保其不致脫落或在運動(dòng)時(shí)不被甩出。 （4）設備的往復運動(dòng)部件采取可靠的限位措施。各運動(dòng)軸設置可靠的電氣、機械雙重限位裝置，防止造成滑落的危險。 （5）在預定工作條件下，設備及其部件不出現意外傾覆。激光系統、光束傳輸部件應有防護措施并牢固定位,防止造成沖擊和振動(dòng)。 （6）設備工作時(shí)有明顯的信號指示，警示標志貼在設備的醒目位置。 （7）每個(gè)“起動(dòng)”控制元器件附近均應設置一個(gè)“停止”控制元器件。設備的每個(gè)操作位置均應設置急停器件。設備的急停能實(shí)現： ①使激光光束不再產(chǎn)生并自動(dòng)把激光光閘放到關(guān)斷位置； ②使設備停機； ③切斷激光電源并釋放儲存的所有能量。 | 
